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	FR-Scanner: 自动化超高速精准薄膜厚度测量仪	FR-Mic: 微米级薄膜表征-厚度，反射率，折射率及消光

	扫描电镜、透射电镜主动式防振台—Herz	主动式隔震台/隔振台防震台/防振台瑞士Herz防震台/防

	涂层厚度测量、薄膜厚度测量、光学参数测量、薄膜表征	3D光学干涉轮廓仪——表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度

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